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先端露光装置の分野で日系企業を追い抜いた、覚えておくべきオランダのメーカーとは?
半導体製造に不可欠な製造装置業界について、前工程向けと後工程向けの分類や主要企業について述べられています。
前工程向けの主な製造装置メーカーとしてASML、アプライド・マテリアルズ、ラムリサーチ、東京エレクトロンなどが挙げられています。
ASMLは露光装置に特化し、他の企業を一気に突き放した存在であり、製造装置業界において重要な役割を果たしています。
スマホやパソコン、家電、自動車など、生活に密着した機器の製造に不可欠な半導体。生成AI時代の到来でその重要性は増しており、米中覇権争いが熾烈(しれつ)を極める中、経済安全保障における最も重要な戦略物質と目されている。一方で、製品はメモリ、CPU(MPU)、センサーなど多種多様、多数のメーカーが製造工程ごとに世界中に点在しており、産業構造はあまり知られていないのが実態だろう。そこで本連載では、日本電気で一貫して半導体事業に携わった菊地正典氏の著書『教養としての「半導体」』(菊地正典著/日本実業出版社)から、内容の一部を抜粋・再編集。
第3回は、日本企業の主戦場である半導体製造装置業界について、製造工程と主要企業を概説する。
■ 製造装置業界は「前工程」向け、「後工程」向けの 二つに分かれる
製造装置メーカーは、半導体の製造、すなわちシリコン(ケイ素)の基板上に多数のチップをつくり込む前工程向けと、完成した1個1個のチップを組立・検査する後工程向けの二つに大きく分かれます。そして、前工程に使われる装置をIDM企業やファウンドリー企業(前工程対応)に提供し、後工程用の装置をIDM企業やOSAT企業(後工程対応)に提供します。
■ 前工程の特筆すべき製造装置メーカー
下の図「半導体製造工程の概略」を見ていただければ、前工程・後工程の中にどのような細かな工程があるか、それらがどのような順になっているかがおわかりでしょう。そして製造装置メーカー、材料メーカーがそれぞれの工程の装置・材料を提供します。また、ファウンドリー企業は前工程に、OSAT企業は後工程に対応していることがわかるでしょう。
細かい話は後の章にゆずって、ここではこのような工程があり、それらを生産している企業としてどのようなメーカーがあるのかについて簡単に触れておくことにします。下の図表が前工程用の主な製造装置とその代表的メーカーです。
どの企業もそれぞれの工程で重要といえますが、その中でも特に覚えておきたい企業がASML(オランダ)です。ほかにもアプライド・マテリアルズ(AMAT:アメリカ)、ラムリサーチ(アメリカ)、そして日本企業の東京エレクトロン(TEL)、アルバック、表にはありませんがディスコ、レーザーテック、村田機械なども覚えておきたい企業です。
ASML(オランダ)は先端露光装置に特化した企業で、それまでこの分野で強かったキヤノン、ニコンを一気に突き放しました。
なお、ASMLとは別にASMインターナショナル(オランダ)という企業もあります。これは同じ製造装置企業で、CVD(シリコンウエハー上に必要な薄膜を堆積させる装置)やALD(薄膜を1原子層ずつ堆積させる装置)などの成膜装置、あるいは拡散炉など幅広い装置を扱っています。名前が非常によく似ていますが、ASMLとASMインターナショナルは同じオランダ企業ではあっても別企業です。
アプライド・マテリアルズ(アメリカ)はAMATと略されることも多い企業です。CVD、ALD、スパッタ、メッキなどの成膜装置、ドライエッチャー、CMP装置(シリコンウエハーの研磨)などの代表的企業です。ラムリサーチ(アメリカ)も同様に、ドライエッチャー(薄膜を部分的に除去)、CVD、CMP装置、メッキ装置、ウエット洗浄装置(半導体の洗浄:半導体製造プロセスの30~40%を占める)の企業として知られています。