EUV露光回路補正…東京エレクトロン、「ガスクラスタービーム装置」投入

AI要約

東京エレクトロンはEUV露光装置による回路のパターン形成を補正するガスクラスタービーム装置「Acrevia」の販売を開始した。

装置を用いて線幅の加工と形状の補正を行うことで、EUV露光の工程を削減し、コスト低減に貢献する。

独自のソフトウェア技術を採用し、任意の加工制御を行えるようにしたことで、EUV露光工程の最適化やリソグラフィー欠陥の低減に役立てることができる。

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