# EUV露光装置
2024.09.11
千歳市に拠点開設 ラピダスの半導体製造支援 ASML
オランダの半導体製造装置大手ASMLは11日、北海道千歳市に拠点を開設したことを明らかにした。 次世代半導体の国産化を目指し、同市内に工場を建設中のラピダス(東京)に協力し、ASMLが世界で唯一製造している極端紫外線(EUV)露光装置の導入や保守点検を担う。 EU
2024.07.25
EUV露光回路補正…東京エレクトロン、「ガスクラスタービーム装置」投入
東京エレクトロンは極端紫外線(EUV)露光装置により回路のパターン形成を補正するガスクラスタービーム装置「Acrevia」の販売を始めた。EUV露光とその後のエッチング処理後に同装置を用いてビームを照射することで、線幅の加工と形状の補正を行う。従来、複数回必要だったEUV露光の工程を削減し、コ