先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現沖縄科技大

AI要約

先端半導体の製造に欠かせないEUVリソグラフィーの省エネ技術がOISTで開発された。

EUV露光装置の電力消費を10分の1に抑える技術を導入し、コスト削減が期待されている。

新たな鏡の設計により、EUV光の効率を向上させた新技術が導入される見込み。

先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現沖縄科技大

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