# ガスクラスタービーム装置 2024.07.25 EUV露光回路補正…東京エレクトロン、「ガスクラスタービーム装置」投入 東京エレクトロンは極端紫外線(EUV)露光装置により回路のパターン形成を補正するガスクラスタービーム装置「Acrevia」の販売を始めた。EUV露光とその後のエッチング処理後に同装置を用いてビームを照射することで、線幅の加工と形状の補正を行う。従来、複数回必要だったEUV露光の工程を削減し、コ