# カーボンナノチューブ

リンテックは次世代極端紫外線（EUV）露光装置用カーボンナノチューブ（CNT）ペリクル（防塵膜）を開発しサンプル提供を始めた。数社に初期サンプルを出し、今後フィードバックをもらいながら2025年度の量産開始を目指す。次世代ペリクルをめぐっては、三井化学なども量産化を急ぐ。リンテックは回路線幅2

　窒化ホウ素ナノチューブ（BNNT）の中にカーボンナノチューブ（CNT）が入った複層の構造体に光を照射すると、電子の抜け道ができてチューブ全体が速く振動する現象を、筑波大学などのグループが発見した。単独のBNNTに照射するより低いエネルギーの光で起き、電子のエネルギーが速やかに熱へと変わってい

　ラケットスポーツ用品の研究開発と製造を手がけ、福島県飯舘村に二つの工場を置くCRSスポーツ工業（埼玉県）は9月から、新たに川俣町の旧福田小を工場として活用し、バドミントンのガットの製造を本格的に始める。町と同社が26日、立地協定を結んだ。　同社は2018年の設立で、全て輸出向け

三井化学は半導体製造用の次世代露光装置で使われるカーボンナノチューブ（CNT）ペリクルを量産する。岩国大竹工場（山口県和木町）に生産設備を設け、2025年12月に完工する予定。生産能力は年5000枚で、投資額は非公表。拡大する先端半導体需要に対応する。ペリクルはフォトマスク（半導