# 研磨フィルム 2024.06.15 SiCウエハーの8インチ化に貢献、Mipoxが研磨装置開発 Mipoxは炭化ケイ素(SiC)8インチウエハーのエッジ部とノッチ部を連続で面取り加工できる研磨装置を開発した。研磨フィルムを使った独自工法で従来の砥石(といし)による研削から生産性を大幅に高め、SiCウエハーの8インチ化に貢献する。価格は標準仕様で約7500万円(消費税抜き)。初年度10台の