# QST基板
2024.09.05
1.5倍300mmに大型化…信越化学、次世代半導体向け「GaNウエハー」
信越化学工業は3日、窒化ガリウム(GaN)を使う半導体専用の製造基板(ウエハー)の直径を従来比1・5倍の300ミリメートルに大型化し、サンプル供給を始めたと発表した。高品質な厚膜GaNエピタキシャル成長を実現する。需要が高まっているデータセンター(DC)で使う次世代半導体などの製造用材料として
2024.09.03
次世代パワー半導体用基板、300ミリに大口径化 信越化学
信越化学工業は3日、GaN(窒化ガリウム)専用の成長基板で300ミリメートル(12インチ)の大口径化を実現し、サンプル提供を開始したと発表した。 同社は、米国Qromis社(カリフォルニア州)が開発したGaN成長専用の複合材料基板である「QST基板」のライセンスを2019年に取