# 表面処理

魁半導体（京都市下京区、田口貢士社長）は、大気圧プラズマ処理で従来は難しかった対象物表面の撥水性向上や接着性強化が行える新技術を開発した。真空プラズマ処理と違って真空設備が不要で大型品や複雑形状品などの処理が容易となり、ウェット（薬液）処理と比べて高い効果が得られる。大気圧プラズマ処理の用途を

　硬い鋼球を金属に押しつけながら転がす「ボールバニシング」という表面処理法で、アルミニウム合金（ジュラルミン）の表面についた亀裂のようなキズを閉じて滑らかにし、合金の疲労強度も上げて無害化できることを、横浜国立大学などが明らかにした。軽量化が求められる輸送機器の長寿命化と信頼性向上が期待できる

新東工業はこのほど、電子部品、精密機器、医療機器などクリーンな環境下でのものづくりを支える「クリーンプロセスラボ」を開設し、クリーンな空間での表面処理加工サービスの提供を開始したと発表した。

明星大学連携研究センターの須賀唯知主幹研究員、王俊沙主任研究員らのグループは、大阪大学、IIPT（東京都三鷹市）と共同で、ダイヤモンドの大口径基板を表面粗さ0・5ナノメートル（ナノは10億分の1）以下の平滑面に加工することに成功した。窒化ガリウムウエハーや圧電単結晶ウエハーなどの異種半導体ウエ