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![膜形成時の泡を98%削減 ウエハーの歩留まり向上に効く](/img/article/20240703/6684e9b024370.jpg)
2024.07.03
膜形成時の泡を98%削減 ウエハーの歩留まり向上に効く
東京エレクトロン(以下、TEL)と太陽ホールディングス(以下、太陽HD)は2024年6月5日、省電力化に向けて開発を進めている半導体実装/材料分野の最新技術に関するプレス向けセミナーを実施した。 TEL CTSPSBU クリーントラックマーケティング部 スペシャリストの土屋勝裕